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4月12日,上海新陽(yáng)在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示,公司與中芯北方搭建的1400光刻機(jī)安裝調(diào)試基本完畢。
圖:上海新陽(yáng)
上海新陽(yáng)表示,公司研發(fā)費(fèi)用投入超2億元,且主要系光刻膠項(xiàng)目研發(fā)和參與的國(guó)家重大科技項(xiàng)目研發(fā)費(fèi)用。
資料顯示,上海新陽(yáng)目前主要從事兩類(lèi)業(yè)務(wù):一類(lèi)是集成電路制造及先進(jìn)封裝用關(guān)鍵工藝材料及配套設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和服務(wù),并為客戶(hù)提供整體化解決方案;另一類(lèi)是環(huán)保型、功能性涂料的研發(fā)、生產(chǎn)及相關(guān)服務(wù)業(yè)務(wù),并為客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)的整體涂裝業(yè)務(wù)解決方案。
其主要產(chǎn)品是半導(dǎo)體晶圓制造及先進(jìn)封裝用電鍍液及添加劑、半導(dǎo)體晶圓制造用清洗劑、半導(dǎo)體封裝用電子化學(xué)材料、半導(dǎo)體制造用高端光刻膠產(chǎn)品、半導(dǎo)體配套設(shè)備產(chǎn)品。
上海新陽(yáng)迄今承擔(dān)國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)研發(fā)項(xiàng)目有:“65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”、“20-14nm先導(dǎo)產(chǎn)品工藝開(kāi)發(fā)”項(xiàng)目任務(wù)課題“高速自動(dòng)電鍍線(xiàn)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)”項(xiàng)目、“銅互連電鍍工藝技術(shù)及產(chǎn)品的研發(fā)”等。